微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。无油活塞式真空泵是一种活塞式真空泵，用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备。内蒙古供应商真空泵

无油活塞泵：它是一种利用活塞往复运动产生的泵吸气的真空设备，其工作原理是通过活塞的上下往复运动，使气体在泵筒内产生压缩和膨胀，从而产生负压来吸气。其广泛应用在医疗行业、电子制造、化工行业和食品行业等自动化设备领域。无需油，符合工业环保要求无油活塞真空泵在整个工作过程中，无需使用润滑油，无油活塞真空泵气缸内壁特殊处理，形成自润滑，不会产生油雾和废气，有效减少了对环境的污染，相对传统油式真空泵比较环保节能。在电机材质和设计上也独具匠心，电机能效比高，极低发热量，提高电机的运行效率和降低能源消耗，有效提高了节能环保的效果。新疆真空泵调整定制型(OEM)蠕动泵：体积小，适合精度不高的各种环境下的小流量液体输送。

微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。

具体到常见的真空泵类型，包括但不限于以下几种：变容积式真空泵：包括往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、水环真空泵、罗茨真空泵等。这类泵通过改变泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的过程。喷射真空泵：包括水喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵、汽水串联喷射真空泵、汽水组合喷射真空泵等。这类泵利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵。其他类型：如液环真空泵（水环真空泵）、干式真空泵、分子真空泵、牵引分子泵、水喷射真空泵、气体喷射泵、蒸汽喷射泵、扩散泵等。电动真空泵：这是一种多用途、多功能的微型真空泵，具有高压力、低噪音的特点，适用于多种应用场景。按用途分类：主泵、粗抽泵、前级泵、维持泵、粗/低真空泵、高真空泵、超高真空泵、增压真空泵等，这些分类基于真空泵在真空系统中的角色和适用范围。按结构特点分类：机械式真空泵和射流式真空泵两种，机械式真空泵通过机械的运动来不断改变真空泵的吸气容腔容积从而获得真空。气体捕集泵：包括吸附泵、冷阱、低温泵、升华泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵等，这些类型的真空泵通过使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减少了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。手持型蠕动泵：可实现野外取样在线监测取样，可采集高粘度液体、含颗粒液体分层取样，操作简便且易于清洗。

微型隔膜泵与微型蠕动泵的区别；一、工作原理微型隔膜泵的工作原理是通过隔膜的往复运动来改变泵腔的容积，从而实现吸入和排出液体的目的。这种泵通常具有简单的结构和较高的可靠性，因此在许多场合下都被优先考虑。相比之下，微型蠕动泵的工作原理则是通过滚轮或滑块对软管进行交替压缩和释放，使软管内的液体产生定向流动。这种泵的特点是具有较好的密封性和自吸能力，但在结构上相对复杂一些。二、性能特点微型隔膜泵的主要优点在于其结构简单、体积小、重量轻，以及较高的流量和压力范围。此外，它还具有较好的自吸能力和干运转能力，因此在一些需要高可靠性和高适应性的场合下表现出色。微型蠕动泵的优点则在于其良好的密封性和低剪切力。由于蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小，特别适合于输送一些对剪切力敏感的液体。此外，蠕动泵还具有较好的自吸能力和可逆性，可以通过反转滚轮或滑块的方向来实现液体的反向流动。为了减少脉动，许多蠕动泵提供弹簧加载机制以确保平稳地泵送动作。全国进口真空泵

用活塞往复运动产生泵吸气的真空设备通过活塞的上下往复运动气体在泵筒内产生压缩膨胀，从而产生负压吸气。内蒙古供应商真空泵

无油活塞式真空泵是高新科技产品。工作原理是：连杆通过轴承与偏心压装在一起，偏心轮锁紧在电机轴上，由于转轴的旋转，带动连杆往复运动，从而实现空气的吸入、压缩和排出过程。无油活塞式真空泵具有以下特点：--完全无油工作--高效节能--长寿命--静音--低升温--运行平稳--高可靠性--体积小，重量轻--便携式，可携带外出作业--结构简单，易维护--外形美观。无油活塞式真空泵主要应用在以下领域：医疗设备，科研设备，实验室，干燥设备，半导体工业，汽车工业，印刷机械，包装机械，食品保鲜，水产养殖，水净化处理，分析仪器，广告制作，设备维修，生物制药，通讯电子，石油化工，环境监测系统，高原地区制氧等领域。内蒙古供应商真空泵