烘箱烘烤晶圆的作用有哪些：

1.去除水分：晶圆在制造过程中会吸收一定的水分，烘箱烘烤可以去除晶圆表面和内部的水分，以保证后续的工艺步骤的稳定性和可靠性。

2.去除有机物：晶圆在制造过程中可能会残留一些有机物，烘烤可以去除这些有机物，以保证晶圆的纯度和电性能。

3.促进反应：烘烤可以促进晶圆中的化学反应，加快工艺步骤的进展。

4.改善表面特性：烘烤可以改善晶圆表面的特性，如平整度、光洁度等，以提高晶圆的质量和可靠性。 UV烘箱：利用紫外线辐射进行烘烤，具有快速杀菌和消毒的优势，适用于食品、医疗器械等领域。热风循环真空烘箱

工业烤箱：由角钢、薄钢板构成，另外箱体加强，外表面复漆，外壳与内胆之间用硅酸铝纤维充填，形成可靠的保温层，工业烤箱应用的范围很普遍，可干燥各种工业物料。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成，送风马达带动风轮送出冷风，冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。

工业烤箱的热风循环系统有利于提高空气温度的均匀性，在工业烤箱开关箱门运送物料的过程中，温度值会受到影响发生变动，热风循环系统的均匀性则有利于在比较大快速度内恢复工作状态的温度值。 热风循环真空烘箱鼓风的烘箱，在加热和恒温的过程中必须将鼓风机开启，否则影响工作室温度的均匀性和损坏加热元件。

随着半导体行业的迅速发展，半导体洁净烘箱作为一种高精度、高效能的热处理设备，在半导体制造过程中发挥着重要的作用。半导体洁净烘箱是一种具有封闭式结构和高精度温度控制系统的热处理设备；半导体洁净烘箱作为一种高精度、高效能的热处理设备，在半导体制造过程中发挥着重要的作用。相信随着半导体行业的不断发展，半导体洁净烘箱将继续创新，为半导体制造提供更加高精度、高效能的热处理解决方案，助力工艺的优化和半导体产品的进一步提升。

真空烘箱是一种先进的热处理设备，通过在真空环境下进行烘干，具有独特的特点和功能。首先，真空烘箱具有高效的烘干能力。由于真空环境下没有空气，热量可以更加快速、均匀地传导到被烘干物体的各个部分，从而加快了烘干速度。相比传统的烘干方法，真空烘箱可以节省大量的时间和能源。其次，真空烘箱具有良好的烘干效果。在真空环境下，水分的沸点降低，使得水分更容易蒸发和排出。同时，真空烘箱中的氧气含量较低，可以有效防止被烘干物体的氧化、变质等问题，保持物体的品质和口感。烘箱用途：适用于烘烤有化学性气体及加工行业的欲烘烤物品、基板应力的去除、油墨的固化、漆膜烘干等。

电热恒温干燥箱安放在室内干燥及水平处，不必使用其他固定装置 ；应在供电线路中安装铁壳闸刀开关一只，供此箱，并用比电源线粗一倍之导线作接地线并有效接地；通电前，先检查本箱的电压是否相符，并按总工率换算出电流大小，接上相应规格的电源线；待一切准备就绪，可放入试品，关上箱门，此时即可接上电源，开始工作；不可任意卸下侧门，拢乱或改变线路，唯当该箱发生故障时可卸下侧门。按线路逐一检查。如有重大故障时可与本厂及维修点联系。当遇到台车烘箱内温度上升到设定温度后电源不能自动切断而持续加温时，应立即切断电源。品牌真空烘箱温湿度要求

定期检查烘箱的各项功能和安全设施，进行必要的维护和保养。热风循环真空烘箱

台式和立式鼓风干燥箱均采用质量材料制造，确保了设备的耐用性和可靠性，同时满足了不同客户对于空间和性能的需求。台式鼓风干燥箱以其紧凑的设计和易于操作的特点，适合于需要频繁移动或空间有限的实验室环境。它们通常具有较小的加热腔室，适合小批量样品的快速干燥。而立式鼓风干燥箱则以其较大的工作室尺寸和更高的温度控制精度，适用于需要处理大批量样品或对温度均匀性有较高要求的工业应用。台式鼓风干燥箱体积较小，便于放置在实验台上，适合空间有限的实验室或小型工作室使用。热风循环真空烘箱