干式螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的一种真空抽气设备。干式螺杆真空泵工作原理是:利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触左螺杆与右螺杆做高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成多个级,气体在相等的各个槽内进行传输运动,但无压缩,只有螺杆的末端的螺旋结构对气体有压缩作用,形成真空。干式螺杆真空泵的优点:干式螺杆真空泵在工作时,相互之间无磨擦,运转相对平稳,噪音比较低,工作腔不需润滑油,因此,干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空度更高,消耗功率比较低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子。抽气体真空泵厂家供应
干式机械真空泵的应用是很多的,主要有以下几个方面:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;半导体刻蚀工艺。干式真空泵在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用干式机械真空泵可以满足要求;在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。石家庄多级真空泵选真空泵时应比技术文件上的气量适当增大。
真空泵可以使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上,有以下几种形式:吸附泵。依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。吸气剂泵是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。(吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金)吸气剂离子泵。它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上以达到抽气的目的。它有如下两种形式。a、蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。b、溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。
真空泵的抽气速率:真空泵的抽气速率单位是m/h、l/min或l/s,是指泵装有规范尝试罩,并按规程条件作业时,从尝试罩流过的气体流量与在尝试罩指定地位测得的失调压强之比。简称泵的抽速。真空泵的极限压强:泵的极限压强单位是Pa,是指泵在出口处装有规范尝试罩并按规程条件作业,在不引入气体畸形作业的状况下,趋势稳固的工业气压强。真空泵的蒸气容许量:蒸气的容许量单位是kg/h,它是指泵在畸形条件条件下,气镇泵在陆续作业时能抽除的蒸气品质流量。水环真空泵是造纸行业常用的真空泵之一。
循环水式真空泵使用方法:循环水真空泵首先打开水箱上台盖,从中隔封闭层的加水加入清洁自来水,水位升到适合的刻度时为止。循环水真空泵接通电源,将随机带的电源线和机体的连接端插在机体一侧的插座上,使其牢固吻合后再将电源线的另一端牢固的插在电源的插座上。循环水真空泵真空作业,将要抽真空设备的抽气套管紧密的套接在机体一侧的抽气嘴上;循环水真空泵检查循环水开关使其关闭,而后启动电源开关,就可以开始抽真空作业,观察真空表就能读出所指示的真空度读数。循环水真空泵提供循环冷却水,在向反应装置中提供循环水冷却水的时候,将套管接在本机另一侧的循环水出水嘴上,然后使另一端套在需要循环冷却水的反应装上,启动循环水出水开关即可实现循环冷却水的供应。循环水真空泵自然外循环一当本机籍要长时间作业时,为了防止循环水温度的升高而影晌真空的效果。循环水真空泵可将放水软管与自来水接通,出水嘴用胶管连通放入水中控制自来水流,使其形成自然外循环的状态,连续补充更换清洁自来水,以保持循环水温度不会过于升高,则不影晌真空效果。真空泵在寒冬季节使用时,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净,防止冻裂。中山抽气真空泵
真空泵的排气口处要接排气管,以防灰尘进入泵内。抽气体真空泵厂家供应
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