螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆比较末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）等。往复真空泵从安装形式来分，有卧式往复真空泵及立式往复真空泵。武汉吸污真空泵厂

爪形真空泵为多级串联结构，每级泵均应严格控制端面间隙，即四级泵需严格控制8个端面间隙，泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障，另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性，一般人员很难达到装配要求；因爪形真空泵为多级串联结构，排气通道复杂，在抽除可凝性气体时（例如：水蒸汽，有机溶剂气体等），在泵腔内压缩时会产生较多的液体，这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大，四级爪形真空泵有8个端面，不宜抽除大量可凝性气体。武汉吸污真空泵厂水环真空泵的排气管路不能安装阀门，以免误操作让泵出口带压运行。

锆铝吸气泵的工作条件，压强低于10-3Pa时，抽活性气体的工作温度为400 ℃，体内扩散速率是金属表面维持足够的吸气速率而不能释放氢；10-3~1Pa范围内，抽活性气体工作温度为750 ℃——提高温度加速体内扩散，加速清洗吸气剂表面，对H2要求高抽速，工作温度为400 ℃，对纯氢要求大抽速和大吸气量是，工作温度一般为200~300 ℃，对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时，可室温工作，高真空或者超高真空系统中，工作温度一般为400 ℃。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可很好地提高低压区的抽气速率并减小功耗。

还有一种抽真空的设备叫水射机组，它是离心泵通过喷射器直接达到抽真空的目的（补充：水射机组也叫水喷射泵。工作原理为具有一定压力的工作介质水，通过喷嘴向吸入室高速喷出，将水的压力变为动能，形成高速射流；吸入室中的气体被高速射流强制携带与之混合，形成气液混合流，进入扩压器，从而使吸入室压力降低，形成真空，在扩压器的扩张段内，混合射流的动能转变为压力能，速度降低压力升高，气体被进一步压缩，与水一起排出泵外，在水箱中气水分离，气体释放入大气，水由水泵循环再利用，周而复始达到抽真空的目的）。螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧。武汉吸污真空泵厂

对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。武汉吸污真空泵厂

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。武汉吸污真空泵厂