正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的使用需要注意防腐蚀，避免因介质腐蚀造成设备损坏。电子用真空泵哪家比较好

循环水式真空泵使使用步骤：1、准备工作。使用时，打开水箱上盖注入清洁的凉水（亦可经由放水软管加水），当水面即将升至水箱后面的水位高度时停止加水，重复开机可不再加水。使用一段时间后，可续水，水位。2、抽真空作业。将需要抽真空的设备的抽气管紧密套接于本机抽气咀上。关闭循环开关，接通电源，打开电源开关，即可开始抽真空作业，通过与抽气咀对应的真空表可观察真空度。3、当本机需长时间连续作业时，水箱内的水温将会升高，水质污染变差，影响真空度，此时，可放掉污水，更换清洁凉水，保持水箱内水温下降，使主机（水泵）在清洁水中工作，保持真空度稳定。电子用真空泵哪家比较好真空泵的使用需要注意防震防振，避免因震动造成设备损坏或人员伤害。

真空泵的维护：（1）检查油的位置。（2）经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油。（3）换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。（4）一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

真空泵各部件的清洗与测量：1)对泵体及所有零部件分别用煤油或汽油进行清洗；2)检查轴表面是否有裂纹、磨损等情况，轴是否弯曲，不符合要求应更换；3)检查叶轮是否有裂纹、磨损、腐蚀、掉块等情况，严重的应更换；4)检查填料函压盖、轴承座、端盖是否有裂纹和损伤，严重的进行更换；5)检查泵体磨损情况；6)检查螺栓、螺母的螺纹是否有断扣等损坏现象，若有则应及时修理或更换；7)检查驱动端、非驱动端圆盘。检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。开启马达，当真空泵正常工作时，打开出口压力表和进口真空泵，看它是否显示合适的压力，然后逐渐开启闸阀，同时检查马达的负荷情况。真空泵的种类繁多，包括旋片泵、罗茨泵、涡旋泵等，不同种类的泵适用于不同的工作环境。

罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗茨泵具有以下特点：在较宽的压强范围内有较大的抽速；起动快，能立即工作；对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；转子不必润滑，泵腔内无油；振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；驱动功率小，机械摩擦损失小；结构紧凑，占地面积小；运转维护费用低。真空泵的使用需要注意维护保养问题，如定期更换泵油、清洗泵体、检查机械部件等，以延长泵的使用寿命。电子用真空泵哪家比较好

真空泵在半导体行业中的应用非常广，用于制造芯片、光刻机、薄膜沉积等工艺。电子用真空泵哪家比较好

真空泵清泵：1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项：1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。电子用真空泵哪家比较好

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