高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。不同的真空系统要求的真空度不同，因此往往必须由一套真空机组来完成。中山真空泵风扇罩

罗茨真空泵机组全程操作的注意事项，开机前的准备：1.检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。2.检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空泵增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。3.检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，罗茨真空泵出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。罗茨真空泵机组全程操作的注意事项：罗茨真空泵检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。茂名真空泵风扇规格若是工艺过程不支持，应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。

轴封加热器的低水位运行状况。某些机组轴封加热器的疏水直接汇入凝汽器，靠回水提升阀维持轴加水位，若由于阀门工作异常导致加热器水位过低甚至无水位，则凝汽器通过轴抽风机便与大气相连，从而引起凝汽器漏真空，此时应将轴加回水导至外排，以隔断凝汽器与外界联通；而轴加疏水设置水封的机组，因为有水封隔绝能隔断凝汽器与外界相通，但轴加水位过低会失去监视，时间过长可能导致水封破坏，所以应及时调节轴加水位是比较重要的措施，水封投退相对复杂，且容易造成系统漏真空，应规范操作。

低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等直排大气真空泵,使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥阱等部件。油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并将泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中使用;用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸气;使用各种冷凝器或冷阱,不单能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵向真空室的返流。机组初期运转时，要经常观察压缩机的油面。

真空泵机组的基本操作规则，1、于在泵开始工作和泵停止加热阶段，扩散泵油返流特别厉害，因此在开泵前和停泵前应将扩散泵入口阀门关闭，可以防止扩散泵油返流回真空室去。2、不要使油封机械泵在大气压强下或较高压强下连续长时间工作，否则点机会过热，而且泵会出现喷出油雾现象。3、启动油封机械泵时，首先要保证转自运动方向正确，而且油位合乎要求。4、不要用机械泵吧高真空室直接抽至低于13Pa的压强，否则机械泵的油蒸汽会进入高真空室内。5、蒸汽流泵在加热之前，应先供给冷却水。该泵应该配备热保护继电器，当发生停水事件时，能立即使加热器断电，并关闭泵入口阀防止泵液因温度过高而恶化和返流污染真空室。在真空泵机组停止工作时，应将系统内的各元件（包括真空室）都保持在真空状态下封存，但机械泵要通大气。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵。郑州真空泵挡油盘

长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。中山真空泵风扇罩

真空泵机组一般由真空泵、单向阀、球阀、波纹管、罗茨真空泵、供水电磁阀、控制柜、电接点真空表、管路、机架等组成，真空泵机组与水环式真空泵闭式循环系统和水环式真空负压站不同的是具有大抽速，真空度高等优点，真空泵机组是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。真空泵机组是在单台泵机的基础上为实际真空应用需求而设计的串联应用形式，在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业等领域得到普遍的应用。由于真空泵机组的应用形式较为复杂，为保障其正常应用效率，在设备操作管理方面就需要更加注意。对于真空泵机组，在使用一段时间后，都会要求用户进行定期的维护保养，但是由于很多用户维护不当，很可能会对设备造成损坏。真空泵机组在使用的时候需要进行进气口的安装，根据闭路循环系列真空泵机组进行合理连接，保证相对密封不泄漏，以保设备正常工作。中山真空泵风扇罩