9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施,其中有和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。9.5.5防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω2。9.5.6洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设,并应使用绝缘屏蔽电缆。9.5.7接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω;选择分散接地方式时,各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体,两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB50057的有关规定。在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是。江苏过滤器洁净室检测周期
D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。3由初始浓度(No)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(to),与实测自净时间(t)进行对比,如果t≤12to,为合格。4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。安徽微生物洁净室检测第三方检测机构激光粒子计数器需校准后用于0.5μm以上颗粒动态采样。
随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其严格,而且对细菌、微粒、有机物及溶解氧等都有极其严格的要求;医药工业中要求供应的注射用水,对水中含菌量、热源均有严格要求。除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。实践证明,采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区,以减少纯水在管道内的停留时间,减少管道材料微量溶出物(即使目前质量比较好的管道也会有微量物质溶出)对超纯水水质的影响,同时,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止细菌微生物的滋生。
气流模式可视化与层流验证技术层流洁净室需验证单向气流的均匀性和稳定性,常用示踪线法、粒子图像测速技术(PIV)或烟雾测试。例如,ISO Class 5级层流罩需确保风速在0.45±0.1 m/s范围内,且无涡流或死角。某半导体厂因层流罩风速不均导致晶圆污染,后通过调整风机频率和导流板角度解决问题。气流可视化检测还需评估开门瞬间的气流扰动,采用粒子计数器实时监测粒子浓度恢复时间。FDA要求动态条件下验证气流模式,例如模拟人员走动或设备移动时的干扰。此外,回风口的位置和数量需根据房间布局优化,避免形成低速区或逆流。洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。
1)单层洁净室,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,上技术夹层内设置空气过滤装置、风管和公用动力管线;下技术夹层为回风道。这种形式适用于规模较小的洁净室。2)多层洁净室,在单向流洁净生产区吊顶格栅以上设有送风静压箱或循环空气处理设备或空气过滤单元机组等的上技术层;在单向流洁净生产区的活动地板以下设有回风静压箱或辅助生产设备或公用动力设备、管线等的下技术层。有的电子工业洁净厂房的下技术层根据需要可为一层或二层。洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。上海国内洁净室检测分析
单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动。江苏过滤器洁净室检测周期
压差梯度与密封性验证的实践要点洁净室需维持正压梯度(如A级区>B级区>C级区),防止外部污染物侵入。检测时使用微压差计(精度±1Pa)沿洁净走廊-气闸间-生产区的路径逐点测量,记录并验证压差稳定性。某疫苗生产车间因门频繁开启导致压差波动超过±3Pa,引发交叉污染风险。整改措施包括安装余压阀和优化人流管控,同时定期检查门窗密封条完整性。FDA指南强调,压差系统需在动态条件下验证,例如模拟设备故障或紧急开门场景。此外,回风管道的泄漏率需≤0.5%,可通过烟雾测试直观评估气流方向是否符合设计要求。江苏过滤器洁净室检测周期