肠道微流控芯片（GoC）：GoC系统模仿人类肠道的生理学。它解释了肠道的主要功能，即消化、营养物质的吸收、肠神经的调节、体内废物的排泄、以及伴随微生物共生体的人体肠道的病理生理学。GoC模型主要用于精确复制具有所需微流控参数的肠道体内环境。Kim等人研究了当人类GoC被肠道微生物群落占据时肠道的蠕动运动。通过对齐两个微通道（上部和下部）来设计微型器件，该微通道雕刻在PDMS层上，该PDMS是通过基于MEMS的微纳米制造工艺制作的模板翻模制备而来，且PDMS层由涂有ECM的多孔柔性膜隔开。如图所示，该装置被模仿人类肠道生理学的人肠上皮细胞包裹。这样的系统可以模拟人类肠道在某些特定因素下的蠕动运动，即流体流速。显微镜与电镜测量确保微流道精度，支撑高精度生物芯片开发与生产。河北微流控芯片的加工方法

微流控芯片加工的跨尺度集成技术与系统整合;公司突破单一尺度加工限制，实现纳米级至毫米级结构的跨尺度集成，构建功能复杂的微流控系统。在芯片实验室（Lab-on-a-Chip）中，纳米级表面纹理（粗糙度 Ra＜50nm）促进细胞外基质蛋白吸附，微米级流道（宽度 50μm）控制流体剪切力，毫米级进样口（直径 1mm）兼容常规注射器，形成从分子到***层面的整合平台。跨尺度加工结合多层键合技术，实现三维流道网络与传感器阵列的集成，例如血糖监测芯片集成微流道、酶电极与无线传输模块，实时监测组织液葡萄糖浓度并远程传输数据。该技术推动微流控芯片从单一功能器件向复杂系统进化，满足前端医疗设备与智能传感器的集成化需求。福建微流控芯片之SAW器件从设计到硬质塑料芯片成型的快速工艺，大幅缩短研发周期与试产成本。

微流控芯片（microfluidic chip）是当前微全分析系统（Miniaturized Total Analysis Systems）发展的热点领域。微流控芯片分析以芯片为操作平台, 同时以分析化学为基础，以MEMS微机电加工技术为依托,以微管道网络为结构特征,以生命科学为目前主要应用对象，是当前微全分析系统领域发展的重点。它的目标是把整个化验室的功能，包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括：白金电阻芯片, 压力传感芯片, 电化学传感芯片, 声学微流控芯片，微/纳米反应器芯片, 微流体燃料电池芯片, 微/纳米流体过滤芯片等。

深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破：深硅刻蚀（DRIE）是制备高深宽比微流道的主要工艺，公司通过优化Bosch工艺参数，实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体（ICP）源，结合氟基气体（如SF6）与碳基气体（如C4F8）的交替刻蚀与钝化，确保侧壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时，可精确复制地下岩层的微孔结构，用于油气渗流特性研究；在生化试剂反应腔中，高深宽比流道增加了反应物接触面积，使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术，实现三维立体流道网络加工，为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力，推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。单分子级 PDMS 芯片产线通过超净加工，提升检测灵敏度至单分子级别。

生物芯片表面亲疏水涂层工艺的精细控制：亲疏水涂层是调节微流控芯片内流体行为的关键技术，公司通过气相沉积、溶液涂覆及等离子体处理等方法，实现表面接触角在30°-120°范围内的精细调控（精度±2°）。在液滴生成芯片中，疏水涂层流道配合亲水微孔，可实现单分散液滴的稳定生成，液滴尺寸变异系数<5%；在细胞培养芯片中，亲水性表面促进细胞贴壁，结合梯度涂层设计实现细胞迁移方向控制，用于肿瘤细胞侵袭研究。涂层材料包括全氟聚醚（PFPE）、聚二甲基硅氧烷（PDMS）及亲水性聚合物，通过表面能匹配与化学接枝技术，确保涂层在酸碱环境（pH2-12）与有机溶剂中稳定存在超过200小时。该技术解决了复杂流道内流体滞留、气泡形成等问题，提升了芯片在生化反应、药物筛选等场景中的可靠性，成为微纳加工领域的核心竞争力之一。利用微流控芯片做疾病抗原检测。宁夏微流控芯片扣件

干湿结合刻蚀技术制备纳米级微针，可用于组织液提取与电化学检测器件。河北微流控芯片的加工方法

微流体的操控的难题：自动精确地操控液体流动是微流控免疫芯片的主要挑战之一。目前通常依赖复杂的通道、阀门、泵、混合器等，通过控制阀门的开关实现多步骤反应有序进行。尽管各种阀门的尺寸很小，但使阀门有序工作需要庞大的外部泵、连接器和控制设备，从而阻碍了芯片的集成性、便携性和自动化。为尽可能减少驱动泵等辅助设备以使系统小型化，Mauk等研究人员结合层压、柔韧的“袋”和“膜”结构来减少或消除用于流体控制的辅助仪器，通过手指按压充气囊或充液囊实现流体驱动。此外研究人员还尝试通过复杂的多层设计，更利于控制试剂加载、液体流动，如Furutani等人开发了一种6层芯片叠加黏合而成的光盘形微流控设备，每一层都有其特定功能，如加载孔、储液池、反应腔等，尽可能避免降低敏感性。河北微流控芯片的加工方法