微流控芯片的硅质材料加工工艺：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和湿法刻蚀(wetetching)技术是2种常规工艺。由于硅材料具有良好的光洁度和很成熟的加工工艺，主要用于加工微泵、微阀等液流驱动和控制器件，或者在热压法和模塑法中作为高分子聚合物材料加工的阳模。光刻是用光胶、掩模和紫外光进行微制造。光刻和湿法蚀刻技术通常由薄膜沉淀、光刻、刻蚀3个工序组成。在薄膜表面用甩胶机均匀地附上一层光胶。然后将掩模上的图像转移到光胶层上，此步骤首先在基片上覆盖一层薄膜，为光刻。再将光刻上的图像，转移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微结构，此步骤完成了蚀刻?？朔⒘骺匦酒龅降哪烟?。上海微流控芯片的制作

安捷伦已有一些仪器使用趋向于具有更多可用性方面的经验，并将这些经验应用到了微流体技术开发上。微流体和生物传感器的项目经理Kevin Killeen博士在接受采访时说，安捷伦的目标是为终端使用者解除负担，“由适宜的仪器产品组装成的系统可以让非专业人士操纵专业设备”。微流体技术也需要适时表现出其自身的实用性和可靠性，例如，纳米级电喷雾质谱分析（nano-electrospray MS）不必考虑其顶端的闭合及边带的加宽，Killeen补充道：“对于生物学家来说，微流控技术的价值就在于此?！?a href="http://www.hafybjy.cn/zdcbsx/5xz6p15792/31526241.html" target="_blank">西藏微流控芯片特征从设计到硬质塑料芯片成型的快速工艺，大幅缩短研发周期与试产成本。

在过去的30年中，微流控芯片已经成为cancer therapy领域诊断和cure的重要工具?？梢栽谖⒘骺匦酒辖懈髦掷嘈偷南赴妥橹嘌?D细胞培养、3D细胞培养和组织类apparatus培养。患者来源的cancer和组织以可见、可控和高通量的方式在微流控芯片上培养，这推进了个性化医疗的过程。此外，由于可定制的性质，微流控芯片的功能正在扩展。此外，已经发现它是较为方便快捷的，因为它能够处理少量样品，例如来自患者活组织检查的细胞，提供高水平的自动化，并允许建立用于cancer研究的复杂模型。在开发用于cure诊断用途的微流控芯片方面做出了各种努力。

高聚物材料加工工艺：是以高聚物材料为基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、热压法、LIGA技术、激光刻蚀法和软光刻等。模塑法是先利用半导体/MEMS光刻和蚀刻的方法制作出通道部分突起的阳模，然后在阳模上浇注液体的高分子材料，将固化后的高分子材料与阳模剥离后就得到了具有微结构的基片，之后与盖片(多为玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。这一方法简单易行，不需要高技术设备，是大量生产廉价芯片的方法。热压法也需要事先获得适当的阳模?？啥ㄖ萍庸ば∨?PDMS、硬质塑料、玻璃、硅片等材质的微流控芯片。

安捷伦在微流控技术平台上的三个主要产品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大学Stephen Quake研究小组开发的微流体控制因素大规模地综合应用和瑞士Spinx Technologies开发的激光控制阀门。澳大利亚墨尔本蒙纳士大学的研究者正在开发可在微通道内吸取、混合和浓缩分析样品的等离子体偏振方法。等离子体不接触工作流体便可产生“推力”，具有维持流体稳定流动，对电解质溶液不敏感也不受其污染的优点。瑞士苏黎士联邦工业大学的David Juncker认为，流体的驱动没有必要采用这类高新技术，利用简单的毛细管效应就可以驱动流体通过微通道。完善 PDMS 芯片产线覆盖来料加工、生产、质检，支持高标准批量交付。湖南微流控芯片

多样化微流控芯片加工案例覆盖数字 PCR、单分子检测、POCT 等多个领域。上海微流控芯片的制作

微流控芯片的未来发展与公司技术储备：面对微流控技术向集成化、智能化发展的趋势，公司持续投入三维多层流道加工、芯片与微纳传感器/执行器的异质集成，以及生物相容性材料创新。在技术储备方面，已突破10μm以下尺度的纳米流道加工（结合电子束光刻与纳米压?。?，为单分子DNA测序芯片奠定基?。豢⒘嘶谛巫醇且浜辖鸬奈⒎际?，实现芯片内流体的主动控制；储备了可降解聚合物（如聚乳酸-羟基乙酸共聚物，PLGA）微流控芯片工艺，适用于体内植入式检测设备。未来，公司将聚焦“芯片实验室”全集成解决方案，推动微流控技术在个性化医疗、环境监测、食品安全等领域的深度应用，通过持续创新保持在微纳加工与生物传感芯片领域的技术地位。上海微流控芯片的制作