玻璃基微流控芯片的精密刻蚀与键合工艺:玻璃因其高透光性、化学稳定性及表面平整性,成为光学检测类微流控芯片的理想材料。公司采用湿法刻蚀与干法刻蚀结合工艺,在玻璃基板上实现1-200μm深度的微流道加工,配合双面光刻对准技术,确保流道结构的三维高精度匹配。刻蚀后的玻璃芯片通过高温键合(300-450℃)或阳极键合实现密封,键合强度可达5MPa以上,耐受高压流体传输(如100kPa压力下无泄漏)。典型应用包括荧光显微成像芯片、拉曼光谱检测芯片,其光滑的玻璃表面可直接进行生物分子修饰,用于DNA杂交、蛋白质吸附等反应。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板(如4英寸晶圆)的均匀刻蚀难题,通过优化刻蚀液配比与等离子体参数,将流道深度误差控制在±2%以内,满足前端科研与工业检测对芯片一致性的严苛要求。MEMS 工艺实现超薄柔性生物电极定制,用于脑机接口电刺激与电信号记录。中国香港微流控芯片材料
美国Caliper Life Sciences公司Andrea Chow博士认为,微流控技术的成功取决于技术上的跨界联合、技术和应用,这三个因素是相关的。他说:“为形成联合,我们尝试了所有可能达到一定复杂性水平的应用。从长远且严密的角度来对其进行改进,我们发现了很多无需经过复杂的集成却有较高使用价值的应用,如机械阀和微电动机械系统(MEMS)。改进的微流控技术,一般用于蛋白或基因电泳,常常可取代聚丙烯酰胺凝胶电泳。进一步开发的微流控芯片可用于酶和细胞的检测,在开发新prescription面很有用。湖北微流控芯片耗材显微镜与电镜测量确保微流道精度,支撑高精度生物芯片开发与生产。
硅片微流道加工在微纳器件中的应用拓展:硅片作为MEMS工艺的主流材料,在微流控芯片中兼具机械强度与加工精度优势。公司利用深硅刻蚀(DRIE)技术实现高深宽比(>20:1)微流道加工,深度可达500μm以上,适用于高压流体控制、微反应器等场景。硅片表面通过热氧化或氮化处理形成绝缘层,可集成微电极、压力传感器等功能单元,构建“芯片实验室”(Lab-on-a-Chip)系统。例如,在脑机接口柔性电极芯片中,硅基微流道与铂铱电极的集成设计,实现了神经信号记录与药物微灌注的同步功能,其生物相容性通过表面PEG涂层优化,可长期植入体内稳定工作。公司还开发了硅片与PDMS、玻璃的异质键合技术,解决了不同材料热膨胀系数差异导致的应力问题,推动硅基微流控芯片在生物医学、环境监测等领域的跨学科应用。
微米级尺度微流控芯片的精密加工与应用:在0.5-5μm微米级尺度微流控芯片加工领域,公司依托MEMS光刻、深硅刻蚀及纳米压印等技术,实现亚微米级精度的微流道、微孔阵列及三维结构制造。电镜下可见的精细流道网络,其宽度误差可控制在±50nm以内,适用于单分子检测、液滴生成等超高精度场景。例如,在单分子免疫检测芯片中,微米级微孔阵列可实现单个生物分子的捕获与荧光信号放大,检测灵敏度较传统方法提升10倍以上。该尺度芯片的加工难点在于材料刻蚀均匀性与表面粗糙度控制,公司通过干湿结合刻蚀工艺与表面化学修饰技术,解决了高深宽比结构(如10:1以上)的加工瓶颈,成功应用于外泌体分选、循环肿瘤细胞捕获等前沿生物医学领域,为精细医疗提供器件支撑。可定制加工小批量 PDMS、硬质塑料、玻璃、硅片等材质的微流控芯片。
大脑微流控芯片:与神经元和细胞间相互作用直接相关的因素在脑组织功能的情况下起着重要作用。大脑及其组织的研究在很大程度上是复杂的,这使得诸如培养皿或培养瓶之类的2D模型无效,因为这些系统无法模拟大脑的实际生理环境。为了克服这一局限性,研究人员目前正在研究开发大脑微流控芯片平台,可以在先进的小型化工程平台下研究大脑的生理因素,该平台可以通过多步光刻技术制备。它通过制造不同尺寸的微通道进一步实现了对脑组织的研究。在微流控芯片上检测所需要被检测的样本量体积往往只需要微升级别。贵州微流控芯片厂家直销
玻璃基微流控芯片经精密刻蚀与键合,确保高透光性与化学稳定性。中国香港微流控芯片材料
在过去的30年中,微流控芯片已经成为cancer therapy领域诊断和cure的重要工具。可以在微流控芯片上进行各种类型的细胞和组织培养,包括2D细胞培养、3D细胞培养和组织类apparatus培养。患者来源的cancer和组织以可见、可控和高通量的方式在微流控芯片上培养,这推进了个性化医疗的过程。此外,由于可定制的性质,微流控芯片的功能正在扩展。此外,已经发现它是较为方便快捷的,因为它能够处理少量样品,例如来自患者活组织检查的细胞,提供高水平的自动化,并允许建立用于cancer研究的复杂模型。在开发用于cure诊断用途的微流控芯片方面做出了各种努力。中国香港微流控芯片材料