分子的沉积:蒸发或溅射出的膜体分子在真空室内自由飞行,并沉积在基材表面。在沉积过程中,分子会经历吸附、扩散、凝结等阶段,形成一层或多层薄膜。
薄膜的固化:镀膜完成后,需要对真空镀膜机进行冷却,使薄膜在基材上固化。这一过程有助于增强薄膜与基材的结合力,提高薄膜的稳定性和耐久性。 光学镜片、手机玻璃、LED芯片等领域均依赖其实现功能强化。江苏太阳镜真空镀膜机生产厂家
蒸发镀膜机原理:通过加热使镀膜材料蒸发,蒸发后的原子或分子在基体表面沉积形成薄膜。应用行业:在光学领域,用于制造增透膜、反射膜等光学薄膜,以提高光学元件的性能;在装饰行业,可在饰品、五金件等表面镀上金、银等金属膜,提升美观度和价值。溅射镀膜机原理:利用高能粒子轰击靶材,使靶材原子或分子溅射出来,沉积在基体表面形成薄膜。应用行业:在电子行业,用于半导体芯片制造,如在硅片上溅射金属电极、绝缘层等;在玻璃镀膜领域,可制备低辐射膜、太阳能电池减反射膜等。江苏不锈钢真空镀膜机生产企业蒸发镀膜型通过电子束加热材料,可沉积高熔点金属或化合物。
真空系统维护:
真空泵保养:
定期换油:真空泵油是真空泵正常运行的关键。一般根据使用频率和泵的型号,每 3 - 6 个月更换一次真空泵油。因为长时间使用后,泵油会受到污染,含有杂质,这会影响泵的抽气性能。例如,在频繁使用真空镀膜机的工业生产环境中,每 3 个月就应该更换一次油。
检查密封件:密封件的良好状态对于维持真空泵的真空度至关重要。应每月检查一次密封件是否有磨损、老化的迹象。如果发现密封件损坏,要及时更换,否则会导致空气泄漏,影响真空系统的性能。
溅射镀膜原理(也是气相沉积 - PVD 的一种)溅射镀膜在真空镀膜机中是另一种重要的镀膜方式。在溅射镀膜系统中,首先在真空室内通入惰性气体(如氩气),然后利用高压电场使氩气电离,产生氩离子。氩离子在电场的加速下,以很高的速度轰击靶材(即镀膜材料)。例如,当靶材是钛时,高速的氩离子撞击钛靶材表面,会将钛原子从靶材表面溅射出来。这些被溅射出来的钛原子具有一定的动能,它们在真空室内飞行,当到达基底表面时,就会沉积在基底上形成钛薄膜。溅射镀膜的优点是可以在较低温度下进行,并且能够较好地控制薄膜的厚度和成分,适合镀制各种金属、合金和化合物薄膜。真空镀膜机的真空度直接影响薄膜的纯度与结构稳定性。
蒸发镀膜机:
原理与构造:蒸发镀膜机利用高温加热使镀膜材料蒸发,气态原子或分子在工件表面凝结成膜。它主要由真空室、蒸发源、工件架和真空系统构成。电阻加热、电子束加热、高频感应加热是常见的蒸发源加热方式。电阻加热通过电流流经电阻材料产生热量;电子束加热则依靠高能电子束轰击镀膜材料,使其快速升温蒸发;高频感应加热利用交变磁场在镀膜材料中产生感应电流实现加热。应用场景蒸发镀膜机在光学领域应用多样,如为各种光学镜片镀制增透膜、反射膜,提升镜片的光学性能。在包装行业,常用于在塑料薄膜表面镀铝,赋予薄膜良好的阻隔性能与金属光泽,提升产品的保存期限与外观。 光学镀膜真空设备采用多腔体设计,可同时进行多层介质膜的镀制。上海真空镀膜机品牌
硬质涂层真空镀膜设备可制备TiN/TiCN超硬膜层,提升模具使用寿命。江苏太阳镜真空镀膜机生产厂家
镀膜系统维护:
蒸发源或溅射靶:
维护蒸发源清洁:对于蒸发镀膜系统,蒸发源在使用后会残留有膜材。每次镀膜结束后,要让蒸发源自然冷却,然后使用专门的清洁工具,如陶瓷刮刀,轻轻刮除蒸发源表面的残留膜材。如果残留膜材过多,会影响下一次镀膜的膜层质量。
溅射靶检查和更换:在溅射镀膜系统中,溅射靶的状态直接影响镀膜效果。要定期(根据溅射靶的使用寿命,一般为数千小时)检查溅射靶的表面磨损情况。当溅射靶表面的膜材消耗到一定程度,或者出现表面不均匀、有缺陷等情况时,要及时更换溅射靶。 江苏太阳镜真空镀膜机生产厂家