光强信号指示灯显示当前光强是否超过5%。当测量样品未在量程范围内,此时不存在测量信号,该指示灯为熄灭状态。当光强信号大于5%,信号灯点亮为绿色,表明测量数据质量较高。当光强信号小于5%时,信号灯则会显示为橙色预警,提示用户当面光强信号较弱,测量数据效果不佳。此时应该当信号灯点亮为红色时,表明当前光强信号为100%。测量数据的质量存在不确定性,因此可以尝试一下方法解决:量程预警信号灯当前样品是否在测量范围内,当样品不在量程范围内时,该信号灯为熄灭状态。当样品位于量程的15%-85%区间时,该信号灯点亮为绿色。而当样品位于量程的15%以下或85%以上时,该信号灯则显示为橙色,此时测量的数据仍是有效的,只不过需要警惕样品超出量程范围。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司。辽宁点光谱共焦传感器测量范围
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准北京点光谱共焦传感器测量范围膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控,非接触测量,适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5μm。
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。
优势?具有自主知识产权的算法和软硬件设计?·具备高速原始点云传输能力?·具备深度图输出对接各大机器视觉软件?·高达2048测量点的X向轮廓检测?·出色的光学设计,可检测高反光、玻璃等材料?·405nm蓝色激光,面向精密电子与汽车钣金行业需求?·1P67防护等级,防尘、防水、抗震?·可靠工作于0-50℃技术特点产品基于激光三角法测量原理:图像传感模组从一个角度检测投射到被测物体表面上的激光线,反射光透过高质量光学系统,被投射到成像单元上。图像处理计算传感器到被测表面的高度方向(Z轴)和沿着激光线的方向(x轴)的距离信息。通过移动被测物体或传感器,获取的一系列切片信息进行组合,就可以得到三维数据。马波斯测量科技的光谱共焦传感器值得放心。
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来,开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统,干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理:干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,有需求可以来电咨询!江苏2D 测量传感器应用案例
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光谱共焦线传感器由180个点组成,可以测量距离厚度粗糙度形状高分辨率各种材料适用于各种行业。适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度,Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍光谱共焦视觉检测相机,AOI彩色共焦线相机检测系统:自动光学检测,可以测量尺寸高分辨率各种材料适用于各种行业。工业4.0100%在线自动测量与质量控制柔性系统,高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒高分辨率的直角坐标机械手:±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量:±0.05mm重复性适用任何反射表面3D系统致力于粗糙度,3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X;Y;Z):±0.001mm3大尺寸选择:100x100mm2;200x200mm2;300x300m2…可与STIL传感器配套使用,并集成了点、线、相机的3D软件系统亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量:小于1微米辽宁点光谱共焦传感器测量范围