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来源: 发布时间:2024-05-01

硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力,保障线切割过程成为稳定的过程,需要加入大量的切割液,在加工过程中会产生大量的副产物。这种副产物的主要成分为大量有机物(即切割液的主要成分:乙二醇、多乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂的混合液),以及在使用该切割液时添加在其中的碳化硅(该碳化硅用作切割液的磨料),和在切割过程中产生的多晶硅(或单晶硅)颗粒。硅片切割加工副产物若处理不当,不仅会产生严重的环境污染,而且浪费了大量的资源。随着国家节能降耗,保护环境政策的实施,从硅片切割加工副产物中回收经济价值较高的碳化硅,可回用于硅片的切割加工过程,也可以用于商品碳化硅使用场合。质量好的硅片回收找谁好?苏州废硅片回收量

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按照《从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法》提供的技术方案,硅片切割加工副产物经混合均匀后,加入分离剂,用量为5~50%,混合温度为常温或在50℃~80℃(提高温度可以提高效率);用传送机械送入机械分离器,机械分离器的操作温度为5~80℃;由机械分离器获得50~95%的富碳化硅浆料和5~50%的贫碳化硅悬浮液;富碳化硅浆料再进行多级机械分离,获得的高纯度碳化硅浆料再由机械分离去除切割液及分离剂,然后进行碱洗、酸洗和清洗,所得碳化硅湿料经烘干、分级后,得高纯度碳化硅产品。

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