加工陶瓷吸盘要注意什么?陶瓷吸盘因为其硬度高、耐磨、耐腐蚀等诸多优良特性,在各领域中得到了普遍使用。随着技术发展,各种新型特种陶瓷也渐渐进入大家的视野,现在特种陶瓷已成为良好的结构材料和功能材料。它们具有比传统陶瓷更高的耐温性能,力学性能,特殊的电性能和优异的耐化学性能。而陶瓷吸盘其本身材料就是特种陶瓷之一——氧化锆陶瓷。氧化锆陶瓷是一种新型高技术陶瓷,除了有强度高的、硬度、耐高温、耐酸碱腐蚀及高化学稳定性等性质,同时还具有抗刮耐磨、散热性能优良等特点,这一系列的特点,导致其在加工过程中难度直线上升。氧化锆陶瓷的硬度可以说是只次于金刚石,所以不能用加工普通金属的方法去加工氧化锆陶瓷。陶瓷吸盘加工精度高,光洁度好,因为陶瓷吸盘当工件在加工过程中发热而变形时,能够自由伸长。上海陶瓷吸盘
在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。广州精密陶瓷吸盘供货报价陶容吸盘又称多孔陶瓷,同时称之为纳米微孔真空吸盘。
传统的陶瓷吸盘都是一体式结构,直接安装在工作台上。在晶片磨削过程中,往往伴随着大量颗粒和污水,并且会进入吸盘和工作台之间,造成精度误差;在晶圆抛光和清洗过程中,抛光液和水雾进入工作台,还会引起设备的腐蚀生锈;在晶片的加工中,由于碎片导致工作台堵塞会影响设备运转,极大地降低了生产效率。然而,当发生以上设备常见问题时,传统的一体式真空吸盘,拆卸清理维修时又必须将整个吸盘,以及连接在吸盘上的各种真空接头,管路一起拆卸,极为不便。并且由于一体式的结构,防水布置困难,易发生工作台系统腐蚀生锈,也难以局部更换。
陶瓷吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台,经过特殊的纳米粉体工艺制作而成,通过高温烧结在材料内部彼此连接或闭合。公司生产的微孔陶瓷吸盘可以和国内外主流设备配套使用,具有优越的性能。陶瓷吸盘的主要特点:孔径分布均匀,组织致密均匀,颗粒粗细均匀,透气性好,吸附力均匀,表面光滑平整。多种孔径规格可选,方形\圆形可选。可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半导体片,可配套减薄机、划片机、清洗机等设备。陶瓷吸盘的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
陶瓷真空吸盘的吸附性能随孔径的变化而变化。对于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔径是分子直径的几倍。在吸附过程中,孔壁围绕着被吸附的分子,孔中的范德华力非常强;对于中孔和大孔,孔径比吸附分子的直径大10倍以上,并且发生典型的毛细管冷凝。根据孔隙的形状,有时会出现吸附滞后等一系列现象。为了正确分析材料孔隙体积和孔径,需要对材料孔隙结构有清楚的了解,选择正确的预处理方法(温度、大气、真空等)和适当的分析模型,然后获得准确科学的实验结果。由于其特殊的结构,对多孔陶瓷材料具有高比表面积、高孔隙率、高吸附性等许多优异的物理化学性能,普遍应用于半导体、化工、环保、功能材料等领域。气体吸附是表征多孔材料孔隙结构的重要方法之一。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用于平坦,无孔表面的工作平台。深圳碳化硅多孔陶瓷吸盘供应费用
陶瓷吸盘主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅,氮化钛陶瓷。上海陶瓷吸盘
微孔陶瓷吸盘在防腐蚀,抗氧化,抗冷热冲击这几方面拥有的优势:微孔陶瓷吸盘的热容量小,它本身不蓄热,可以直接散热,微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”,影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点,它本身就是微孔洞的结构,这种工件增加了与空气接触的面积,可以大幅度增强它的散热性效果,同比条件下,微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝,密闭环境下,主动辐射散热能力8.8倍与金属材料,散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低,从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。上海陶瓷吸盘
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