陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的,这种陶瓷吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出,晶圆由于负压被吸附在吸盘表面,从而固定。等到加工结束后,内部的等离子水会从陶瓷表面孔内流出,使晶圆较好的剥离且同时清洗表面。虽然陶瓷吸盘在精密磨削加工中应用普遍,但这种方法明显的缺陷是,当晶圆被陶瓷吸盘吸附在吸盘表面时,晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形,从而影响表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圆的一些加工步骤需要在真空环境下进行,而陶瓷吸盘在真空环境下则完全无法工作,这种情况下只能选择其他的夹持方式来固定晶圆。传统的陶瓷吸盘都是一体式结构,直接安装在工作台上。上海精密陶瓷吸盘供货费用
陶瓷吸盘的优点:防止吸收轨迹:毛孔的均匀分布(孔隙度为40%左右)和微小的孔径大小,使物体上的吸收孔径没有痕迹,这是不可避免的与现有的铝真空夹头。因此,多孔陶瓷真空夹头是薄膜工艺的好选择。均匀吸收:毛孔均匀地分布在夹头的整个表面上,使物体的整个部分能够以相等的压力被吸收。尤其对扭曲膜的吸收非常有利。抗静电:由于静电的突出传播特点,静电得到有效消除。多孔陶瓷产品保持其表面电阻10×6±10×9 ×cm2,具有逐渐消除制造过程中物体所承担的静电的效果。防止划痕:出色的表面粗糙度使物体上没有划痕。毛孔的均匀分布和加工技术使产品表面如此光滑,可防止薄膜、玻璃等物体表面出现划痕。上海精密陶瓷吸盘供货费用陶瓷吸盘主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅,氮化钛陶瓷。
多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员,在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。陶瓷吸盘使用的特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨等领域。
陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附, 同时也可作气浮平台,普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用只限用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化移载、物件吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其它加工程序。多孔陶瓷真空吸盘是薄膜工艺的好选择。
在更换陶瓷吸盘时,橡胶软管堵头产生褶皱。在酸性环境中,软管老化后产生真空漏点,应采用不锈钢喉箍扎紧漏真空的软管。橡胶软管出现漏真空后,虽不会立刻影响石膏的吸附和产量,但长期漏真空会将含大颗粒的石膏浆液残留在真空管和陶瓷吸盘中,无法将其清洗干净,缩短了陶瓷吸盘的使用寿命。巡检人员发现橡胶软管漏真空时,应及时处理真空漏点,以减少缩短陶瓷吸盘使用寿命的因素。一旦陶瓷吸盘损坏,需立即停运脱水机,及时更换陶瓷吸盘,并转入了联合清洗程序。在联合清洗前,先注满清水,启动真空泵,利用清水冲洗真空管中残留的石膏浆液,这将有利于延长其他陶瓷吸盘的寿命。陶瓷吸盘的毛孔的均匀分布(孔隙度为40%左右)和微小的孔径大小,使物体上的吸收孔径没有痕迹。微孔陶瓷吸盘供应商
陶瓷吸盘多用于真空吸持设备,一般是用氧化铝陶瓷制成的。上海精密陶瓷吸盘供货费用
微孔陶瓷吸盘在防腐蚀,抗氧化,抗冷热冲击这几方面拥有的优势:微孔陶瓷吸盘的热容量小,它本身不蓄热,可以直接散热,微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”,影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点,它本身就是微孔洞的结构,这种工件增加了与空气接触的面积,可以大幅度增强它的散热性效果,同比条件下,微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝,密闭环境下,主动辐射散热能力8.8倍与金属材料,散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低,从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。上海精密陶瓷吸盘供货费用
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