在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆，此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态，易被吸附进多孔吸盘的孔洞内，而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化，受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内，金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化，合金化金属结合力会增强，从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在，合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。陶瓷吸盘的吸附力分布均匀，性能高，质量好比较适用于薄膜。重庆精密陶瓷吸盘销售价格

陶瓷吸盘的优点：防止吸收轨迹：毛孔的均匀分布(孔隙度为40%左右)和微小的孔径大小，使物体上的吸收孔径没有痕迹，这是不可避免的与现有的铝真空夹头。因此，多孔陶瓷真空夹头是薄膜工艺的好选择。均匀吸收：毛孔均匀地分布在夹头的整个表面上，使物体的整个部分能够以相等的压力被吸收。尤其对扭曲膜的吸收非常有利。抗静电：由于静电的突出传播特点，静电得到有效消除。多孔陶瓷产品保持其表面电阻10×6±10×9 ×cm2，具有逐渐消除制造过程中物体所承担的静电的效果。防止划痕：出色的表面粗糙度使物体上没有划痕。毛孔的均匀分布和加工技术使产品表面如此光滑，可防止薄膜、玻璃等物体表面出现划痕。上海氧化铝陶瓷吸盘现价传统的陶瓷吸盘都是一体式结构，直接安装在工作台上。

微孔陶瓷吸盘在防腐蚀，抗氧化，抗冷热冲击这几方面拥有的优势：微孔陶瓷吸盘的热容量小，它本身不蓄热，可以直接散热，微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”，影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点，它本身就是微孔洞的结构，这种工件增加了与空气接触的面积，可以大幅度增强它的散热性效果，同比条件下，微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝，密闭环境下，主动辐射散热能力8.8倍与金属材料，散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低，从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。

陶瓷吸盘材料的车削加工车削加工主要是用金刚石刀具切削高硬度、高耐磨性的陶瓷吸盘材料。多晶金刚石刀具难以产生光滑的切削刃，一般只用于粗加工；对陶瓷吸盘材料精车削时，或者混合类的液体的时候，如果使用传统的铁滤或金属过滤，就会对过滤器皿产生一定程度的腐蚀，浪费过滤的元件。众所周知，陶瓷是比较耐高温的，微孔陶瓷也不例外，可用于急冷急热的工作环境，然后虽然微孔陶瓷很精致美观，应将泵全部拆开检查陶瓷真空吸盘。陶瓷吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台。

陶瓷吸盘的选型事项：被搬运工件的质量：决定吸盘的大小和数量；被搬运工件的形状和表面状态：选定吸盘的种类；被搬运工件的工作环境（温度）：选择吸盘的材质；被搬运工件的表面高低：确定缓冲距离；吸盘基本连接接方式：吸盘、吸盘座、吸盘杆、弹簧、滑套、弹簧。陶瓷吸盘直径虽表示吸盘的外径，但利用真空压力吸附物体时，因真空压会使橡胶变形，吸附面积也会随之缩小。就搬运技术而言，采用低真空即可满足要求。对于搬运金属与塑料等具有气密性表面的材料，真空度通常在50000～80000Pa之间，若采用高于100Pa的中高真空则不甚经济。陶瓷吸盘在高温环境仍具有良好的绝缘性。安徽碳化硅多孔陶瓷吸盘现货

微孔陶瓷吸盘可以和国内外主流设备配套使用，具有优越的性能。重庆精密陶瓷吸盘销售价格

陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的，这种陶瓷吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出，晶圆由于负压被吸附在吸盘表面，从而固定。等到加工结束后，内部的等离子水会从陶瓷表面孔内流出，使晶圆较好的剥离且同时清洗表面。虽然陶瓷吸盘在精密磨削加工中应用普遍，但这种方法明显的缺陷是，当晶圆被陶瓷吸盘吸附在吸盘表面时，晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形，从而影响表面平整度，使加工精度下降。另外，晶圆的一些加工步骤需要在真空环境下进行，而陶瓷吸盘在真空环境下则完全无法工作，这种情况下只能选择其他的夹持方式来固定晶圆。重庆精密陶瓷吸盘销售价格

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