陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附， 同时也可作气浮平台，普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用只限用于平坦，无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。自动化移载、物件吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力，将工作物（包括晶圆、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物）放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其它加工程序。微孔陶瓷吸盘的热容量小，它本身不蓄热，可以直接散热。西安晶圆陶瓷吸盘供货商

在天然物质和人造物质中，多孔体特别多，比如：水成岩、水铝英石、粘土、木材等建筑材料，无机和有机保温材料，天然纤维等都是多孔体。工业材料中的催化剂、硅胶、活性炭等吸附剂，过滤剂，绝热材料等都利用了多孔性质。因此，我们认为，掌握多孔材料的结构和性质是非常重要的。为了正确地分析出材料孔容孔径，就需要对材料孔结构有着清楚的认识，选择正确的预处理方式（温度、氛围、真空度等）及合适的分析模型，进而得到准确科学的实验结果。多孔陶瓷材料由于其特殊的结构，使其具有高比表面积，高孔隙率，高吸附性等诸多优异的理化性能，因而在半导体、化工、环保、功能材料等领域均有普遍应用，气体吸附法是表征多孔材料孔隙结构特性重要的方法之一。厦门多孔陶瓷吸盘厂商陶瓷吸盘的优点：防止吸收轨迹。

良好的陶瓷真空吸盘需要具备以下几点：①洁净度：避免硅片在加工的过程中被Na+、Al+等杂质污染；②通透性强：均匀透气和透水，保证了硅片的均匀受力和牢固吸附，在磨削过程中不滑动；③结构致密均匀：不易吸附硅粉磨屑，吸盘易于清洗；④强度高：在磨削时无形变，保证硅片在磨削时各点受力均匀，不易产生崩边、碎片等现象；⑤易于修整：修整时不会出现破裂、碎块、脱粒等现象；⑥绝缘性高：绝缘性材质，消除静电。陶瓷吸盘的耐用性也是很重要的考虑因素。

多孔陶瓷真空吸盘的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内，通过微小的气孔把空气吸出，便加工物紧贴在陶瓷面上，能够减少吸附面对高精度材料的应力磨损，其稳定均匀的吸附力适合固定很薄的加工物，如晶圆片、玻璃和柔性屏等；传统的孔陶瓷真空吸盘不能根据吸附物的直径大小进行更换合适的孔陶瓷真空吸盘，吸附不够稳定，吸附物容易掉落损坏，增加生产成本，因此，本实用新型提出一种多孔陶瓷真空吸盘以解决现有技术中存在的问题。多孔陶瓷真空吸盘通过安装机构，安装机构具有更换陶瓷吸盘的功能，使用者可以根据吸附物的直径大小进行更换合适的陶瓷吸盘，提高了吸附的稳定性，防止吸附物掉落损坏，降低了生产成本。陶瓷吸盘具有优异的材料性能，电阻值可以达到105~109Ω/sq。

在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆，此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态，易被吸附进多孔吸盘的孔洞内，而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化，受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内，金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化，合金化金属结合力会增强，从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在，合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。如果陶瓷吸盘出现老化时应该及时更换。西安碳化硅多孔陶瓷吸盘现价

陶瓷吸盘其本身材料就是特种陶瓷之一——氧化锆陶瓷。西安晶圆陶瓷吸盘供货商

目前，陶瓷吸盘已走进了各个工厂，成为了龙门铣床，磨床不可或缺的一部分，所以在选型上也下了不少功夫。那么正常使用时又要注意哪些事项呢？陶瓷吸盘出厂后，一般有60小时左右的磨合期，这是制造工厂根据陶瓷吸盘使用初期的技术特点而划定的。磨合期主要是保证陶瓷吸盘正常运转，降低故障率，延长使用寿命的重要环节。但由于部分用户因缺乏这方面的常识或是工期紧，在机器的磨合期内就超长时间，超长负荷的使用，忽视了新机器的磨合期的特殊技术要求，导致机器早期故障频繁发生。对陶瓷吸盘的磨合期的使用与保养要充分的重视。西安晶圆陶瓷吸盘供货商

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