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    图5为本实用新型实施例提供的沟槽栅结构制作方法的流程图。图中：1为多晶硅层，2为氧化层，21为***氧化层，22为第二氧化层，23为**氧化层，3为光刻胶。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。图4示出了本实施例提供的一种沟槽栅igbt示意图，包括半导体衬底和设置在半导体衬底表面内的两个沟槽栅结构，两个沟槽栅结构对称，沟槽栅结构设置有多晶硅层1和包围多晶硅层1的氧化层2，氧化层包括***氧化层21和第二氧化层22，***氧化层21设置在沟道区，第二氧化层22设置在非沟道区，第二氧化层22的厚度大于***氧化层21的厚度，与现有技术相比，本实施例提供的沟槽栅igbt氧化层2的厚度大于现有技术中的厚度，因此本实施例的结电容更小。需要说明的是，本实施例减小结电容的方式是通过增加沟槽内非沟道区第二氧化层22的厚度，***氧化层21厚度不变，因此本实施例在减小结电容的同时并不会造成器件整体性能变差。在照明、工业、消费、交通、医疗、可再生能源、电力传输等众多领域中获得了***的应用。

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随着节能环保等理念的推进，此类产品在市场上将越来越多见。四川模块诚信合作

    作为本实用新型的进一步方案：所述变压器隔离电路采用高频隔离变压器，其副边有两个**的绕组，输出两路隔离电源。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型能够有效保护igbt模块，并且该实用新型原边电路集成了死区电路、互锁电路和保护电路，可以提高抗干扰能力，提高驱动电路可靠性。附图说明图1为本实用新型涉及的风电变流器驱动电路示意图。图2为本实用新型涉及的风电变流器的具体驱动电路。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-2，实施例1：本实用新型实施例中，风电变流器的igbt驱动电路，包括原边电路、隔离电路和副边电路，原边电路包括死区电路、互锁电路、保护电路、15v电源输入滤波电路和dc/dc电路，隔离电路包括变压器隔离电路和光耦隔离电路，副边电路包括±15v驱动电源、驱动电路和vce-sat检测电路。原边电路包括上下管的死区电路、互锁电路和保护电路。四川模块诚信合作

江苏芯钻时代电子科技有限公司总部位于昆山开发区朝阳东路109号亿丰机电城北楼A201，是一家一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子元器件批发；电子元器件零售；电子元器件与机电组件设备销售；电力电子元器件销售；电子设备销售；电子测量仪器销售；机械电气设备销售；风动和电动工具销售；电气设备销售；光电子器件销售；集成电路芯片及产品销售；半导体照明器件销售；半导体器件设备销售；半导体分立器件销售；集成电路销售；五金产品批发；五金产品零售；模具销售；电器辅件销售；电力设施器材销售；电工仪器仪表销售；电工器材销售；仪器仪表销售；办公设备销售；办公设备耗材销售；办公用品销售；日用百货销售；机械设备销售；超导材料销售；密封用填料销售；密封件销售；高性能密封材料销售；橡胶制品销售；塑料制品销售；文具用品批发；文具用品零售；金属材料销售；金属制品销售；金属工具销售；环境保护设备销售；生态环境材料销售；集成电路设计；集成电路芯片设计及服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）的公司。公司自创立以来，投身于IGBT模块，可控硅晶闸管，二极管模块，熔断器，是电子元器件的主力军。江苏芯钻时代始终以本分踏实的精神和必胜的信念，影响并带动团队取得成功。江苏芯钻时代创始人陈川，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。