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图5为本实用新型实施例提供的沟槽栅结构制作方法的流程图。图中：1为多晶硅层，2为氧化层，21为***氧化层，22为第二氧化层，23为**氧化层，3为光刻胶。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例?；诒臼涤眯滦椭械氖凳├?，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型?；さ姆段АＭ?示出了本实施例提供的一种沟槽栅igbt示意图，包括半导体衬底和设置在半导体衬底表面内的两个沟槽栅结构，两个沟槽栅结构对称，沟槽栅结构设置有多晶硅层1和包围多晶硅层1的氧化层2，氧化层包括***氧化层21和第二氧化层22，***氧化层21设置在沟道区，第二氧化层22设置在非沟道区，第二氧化层22的厚度大于***氧化层21的厚度，与现有技术相比，本实施例提供的沟槽栅igbt氧化层2的厚度大于现有技术中的厚度，因此本实施例的结电容更小。需要说明的是，本实施例减小结电容的方式是通过增加沟槽内非沟道区第二氧化层22的厚度，***氧化层21厚度不变，因此本实施例在减小结电容的同时并不会造成器件整体性能变差。北京哪些是模块量大从优虽然IGBT听着**，但基本上用电的地方都有IGBT的身影。
作为本实用新型的进一步方案：所述变压器隔离电路采用高频隔离变压器，其副边有两个**的绕组，输出两路隔离电源。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型能够有效保护igbt模块，并且该实用新型原边电路集成了死区电路、互锁电路和保护电路，可以提高抗干扰能力，提高驱动电路可靠性。附图说明图1为本实用新型涉及的风电变流器驱动电路示意图。图2为本实用新型涉及的风电变流器的具体驱动电路。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例?；诒臼涤眯滦椭械氖凳├玖煊蚱胀际跞嗽痹诿挥凶龀龃丛煨岳投疤嵯滤竦玫乃衅渌凳├?，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-2，实施例1：本实用新型实施例中，风电变流器的igbt驱动电路，包括原边电路、隔离电路和副边电路，原边电路包括死区电路、互锁电路、?；さ缏?、15v电源输入滤波电路和dc/dc电路，隔离电路包括变压器隔离电路和光耦隔离电路，副边电路包括±15v驱动电源、驱动电路和vce-sat检测电路。原边电路包括上下管的死区电路、互锁电路和?；さ缏?。
该第二氧化层22的厚度为3000-5000a(如图5c所示)，根据应用端对器件的开关特性需求，可以对第二氧化层22的厚度进行调节；s102：沉积光刻胶3(如图5d所示)；s104：去除沟道区的光刻胶3，保留非沟道区的光刻胶3，从而?；す挡勰诜枪档狼牡诙趸?2不被蚀刻；s105：对第二氧化层22进行蚀刻(如图5f所示)，然后去除沟槽内非沟道区保留的光刻胶3(如图5g所示)；s106：在沟槽内沉积***氧化层21(如图5h所示)；s107:沉积多晶硅层(如图5i所示)，然后去除表面多余多晶硅层(如图5j所示)。需要说明的是，本实施例提供的制作方法形成两种厚度氧化层2没有新增光刻流程，从而节省了光罩制作成本。综上，本实施例提供的沟槽栅igbt及其制作方法可以降低现有技术中结构的结电容大小、提高了器件的开关特性，从而使得本实用新型可以应用于高频场景。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。反之，加反向门极电压消除沟道，切断基极电流，使IGBT关断。
死区电路的作用是：实现上下管驱动信号有一定的时间间隔td，例如上管驱动信号关闭后，需要等待td延时后才能开通下管驱动信号；互锁电路的作用是：上下管驱动信号不能同时为有效，避免产生上下管驱动直通信号；?；さ缏返淖饔檬牵旱备北叱鱿止收闲藕攀?，?；さ缏纺芄煌惫乇丈舷鹿芮藕?。15v电源输入滤波电路的作用是：对输入15v电源进行滤波，维持15v电源的稳定并且降低emc干扰。dc/dc电路的的作用是：15v电源高频脉宽调制dc/dc。隔离电路包括：驱动光耦、反馈光耦和隔离变压器。驱动光耦的作用是：传递原边驱动信号给副边电路，电气隔离原边低压侧和副边高压侧。反馈光耦的作用是：传递副边故障信号给原边电路，电气隔离原边低压侧和副边高压侧。隔离变压器的作用是：输出上下管驱动电源，电气隔离原边低压侧和副边高压侧。副边电路包括：±15v电源、驱动电路、vce-sat检测电路。±15v电源的作用是：输出igbt模块所推荐的驱动电源。驱动电路的作用是：副边驱动信号放大，推挽输出。vce-sat检测电路的作用是：检测igbt模块退饱和或过流信号，故障信号反馈给原边。vce-sat检测电路分别连接igbt?？椤⑶缏泛凸怦罡衾氲缏??？梢钥刂频缁?、变频器、变压器、电源、电抗器等电力电子设备。安徽模块装潢
当前市场上销售的多为此类?？榛?，一般所说的IGBT也指IGBT?？?。上海?？榱闶奂?/p>
○触发板也可接入直流3V电压和分流器75mV反馈信号进行直流负载的恒电流和恒电压控制。（请通过JP1和JP3跳线选择短接S4和S6进行直流闭环控制）?！鸫シ蹇筛莶煌蟪『先⊙?。触发板还可以与单片机及相应检测传感器组成外闭环自动控制系统。2．可选择三种的输入模式：○4-20mA输入。通过JP4跳线选择短接S1?！?-10V输入。通过JP4跳线选择短接S2?！?-5V输入。通过JP4跳线选择短接S3。3．可外接温控?；た睾透次豢兀海ㄇ氩慰冀酉咄迹?。4．软启动调节：触发板可通过VR3可调电阻设置调节软启动的时间，顺时针方向调节为启动时间更长。5．限流限压?；ぃ捍シ逋ü鹘赩R2设置限电流和限电压门槛值，顺时针方向调节为低。（如使用限压功能请短接JP2跳线，不用此功能时断开即可）。6．过流过压?；ぃ捍シ逋ü鹘赩R1设置过电流和过电压门槛值，顺时针方向调节为低。五、异常状态排除法1、在较小的输入控制信号时SCR接近100%输出：○可能触发器在闭环工作模式状态下，没有接入反馈信号，导致触发器积分系统误判，请接入闭环反馈信号?！鸫シ⑵髟诒栈饭ぷ髂Ｊ绞保涸氐缌鞴 ！鸺觳榉蠢⌒藕攀欠窠诱?。2、SCR无输出，无电流或电压：○面板PW指示灯不亮，SCR无法工作。上海模块零售价
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