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    所述***氧化层厚度为1000-1200a。进一步地，所述第二氧化层厚度为3000-5000a。进一步地，两个所述沟槽栅结构之间设置有***掺杂区，所述***掺杂区的掺杂类型与所述半导体衬底的类型相反。进一步地，在所述***掺杂区的内表面设置两个第二掺杂区，所述第二掺杂区的掺杂类型与***掺杂区的掺杂类型相反，两个所述第二掺杂区分别设置在靠近两个所述沟槽栅结构的一侧，所述***掺杂区和所述第二掺杂区与发射极金属接触。进一步地，所述半导体的底部还设置有缓冲层和集电极，所述集电极设置在比较低层。与现有技术相比，本实用新型的有益效果：本实用新型提供的沟槽栅igbt通过在沟槽内设置两种厚度氧化层，两种厚度氧化层分别为***氧化层和第二氧化层，该第二氧化层厚度大于***氧化层厚度，因为结电容与氧化层的厚度成反比，因此增加氧化层的厚度会降低器件的结电容大小，从而解决了现有技术中沟槽栅igbt结电容大的问题，从而提高了本实用新型的开关特性，使得本实用新型可应用于高频场景。附图说明图1为现有技术中平面栅igbt的示意图；图2为现有技术中沟槽栅igbt的示意图；图3为现有技术中沟槽栅结构制作方法的流程图；图4为本实用新型实施例提供的沟槽栅igbt的示意图。浙江大规模模块进货价过零触发型交流固态继电器（AC-SSR）的内部电路。

    该第二氧化层22的厚度为3000-5000a(如图5c所示)，根据应用端对器件的开关特性需求，可以对第二氧化层22的厚度进行调节；s102：沉积光刻胶3(如图5d所示)；s104：去除沟道区的光刻胶3，保留非沟道区的光刻胶3，从而保护沟槽内非沟道区的第二氧化层22不被蚀刻；s105：对第二氧化层22进行蚀刻(如图5f所示)，然后去除沟槽内非沟道区保留的光刻胶3(如图5g所示)；s106：在沟槽内沉积***氧化层21(如图5h所示)；s107:沉积多晶硅层(如图5i所示)，然后去除表面多余多晶硅层(如图5j所示)。需要说明的是，本实施例提供的制作方法形成两种厚度氧化层2没有新增光刻流程，从而节省了光罩制作成本。综上，本实施例提供的沟槽栅igbt及其制作方法可以降低现有技术中结构的结电容大小、提高了器件的开关特性，从而使得本实用新型可以应用于高频场景。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

    专业进行智能厨具产品的开发和研究，并设立了以上海市区为中心的赛米控营销售后服务点。2009年3月，赛米控公司联合石家庄启宏东立科技有限公司共同投资成立石家庄赛米控电子科技有限公司。石家庄赛米控公司主要负责北方商用电磁炉成品的组装生产与销售。2004年，佛山市顺德铭诚科技公司成立。一帮追求真理，怀着远大抱负的年轻人开创了中国厨具发展史上的先河,***家把大功率电磁炉技术做成机芯的形式对全国厨具公司进行销售。2006年，佛山市顺德铭芳玉电子有限公司成立，并推出西门康牌商用电磁炉中西厨具成品。世界上***家推出采用中式炒炉15CM抛锅不间断加热有火力输出这一新技术，并成为中国大功率电磁感应加热技术行业名副其实的领秀。后同行业沿用，同为现有商用电磁炉的一个技术标准。2007年，世界***台不用市电的太阳能电磁灶在这里诞生。"牛灶"**双区加热大锅灶刷新了同行业技术，并推动行业的进步发展。同年，在顺德、高明规划购置工业用地20亩，布局全国比较大的商用电磁炉生产基地。二极管的伏安特性是指加在二极管两端电压和流过二极管的电流之间的关系。

    以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：风电变流器的igbt驱动电路，包括原边电路、隔离电路和副边电路，所述原边电路包括死区电路、互锁电路、保护电路、15v电源输入滤波电路和dc/dc电路，所述隔离电路包括变压器隔离电路和光耦隔离电路，所述副边电路包括±15v驱动电源、驱动电路和vce-sat检测电路，vce-sat检测电路分别连接igbt模块、驱动电路和光耦隔离电路，光耦隔离电路还连接死区电路、互锁电路和保护电路，驱动电路还分别连接光耦隔离电路和igbt模块，vce-sat检测电路检测到igbt模块发生短路故障或过流故障时，通过光耦隔离电路传递故障信号给原边电路，原边电路同时***igbt模块上下管驱动信号，并通过光耦隔离电路和驱动电路关断igbt模块。作为本实用新型的进一步方案：所述igbt模块分为上下两路。作为本实用新型的进一步方案：所述死区电路、互锁电路、保护电路均分为上下两路。作为本实用新型的进一步方案：所述光耦隔离电路分为上下两路。作为本实用新型的进一步方案：所述驱动电路分为上下两路。作为本实用新型的进一步方案：所述光耦隔离电路包括反馈光耦和驱动光耦。该器件还适用于通用线电压整流器应用，如电源和标准驱动。湖北代理模块

曲线OA段称为不导通区或死区。一般硅管的死区电压约为0.5伏。云南模块厂家

    pwm_l信号为低电平时，c2通过r2充电，r2,c2构成死区延时td。当pwm_h信号为高电平时，c3通过d3快速放电，pwm_l信号为低电平时，c3通过r3充电，r3,c3构成死区延时td。其中v1输入采用cmos施密特与非门，可以提高输入信号门槛电压，提高信号抗干扰能力。上管驱动电路由r11,q3,q4,r8构成推挽放大电路，对光耦输出信号u2_out信号进行放大,上管驱动信号drv_h直接连接igbt模块上管门极hg，满足igbt模块对于驱动峰值电流的需求。下管驱动电路由r17,q5,q6,r18构成推挽放大电路，对光耦输出信号u4_out信号进行放大，下管驱动信号drv_l直接连接igbt模块下管门极lg，满足igbt模块对于驱动峰值电流的需求。上管vce-sat检测电路由r9,d11,r10构成vce-sat采样电路:当驱动信号drv_h为高电平（15v）时，通过电阻和igbt模块导通压降vce-sat的分压原理：，采样信号vce_h，r13和r14构成分压电路(通过r13和r14设定保护值)，比较信号comp_h，通过vce_h与comp_h的比较实现vce饱和压降的检测，并输出故障信号fault_h：当vce_h小于comp_h，fault_h为高电平，正常状态；当vce_h大于comp_h，fault_h为低电平，报故障状态;当驱动信号drv_l为低电平（-15v）时。云南模块厂家

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