薄膜材料简介制造业中高速切削和干式切削等先进技术的发展对刀具提出了较高的要求，作为刀具涂层的薄膜材料TiN不仅要具有较高的硬度，而且要具有优良的耐磨性、耐热性、韧性和良好的化学稳定性等。硬质薄膜表面涂层可以实现上述要求。硬质薄膜表面涂层通常指为提高构件表面耐磨性、耐腐蚀性、耐高温性而涂覆于构件表面的膜层，厚度为几纳米到几十微米，材料通常是一些由过渡族金属与非金属构成的金属间化合物等。这些化合物一般由金属键、共价键、离子键，以及离子键和金属键的混合键键合，具有熔点高、硬度大的特征，通常还具有良好的化学稳定性和热稳定性。基于以上特征和优点，硬质薄膜表面涂层已被广泛应用于航空、工模具、电子等加工领域，并且在刀具、模具等方面有力推动了制造业的发展。氮化钛是第一种产业化并被广泛应用的硬质薄膜材料。氮化钛薄膜具有硬度高、耐磨、耐热、耐腐蚀等特性[1]，为面心立方晶体结构，由金属键、共价键和离子键混合而成，同时具有金属晶体和共价晶体的特性。氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等，有较高超导临界温度是优良的超导材料。南京医疗器械氮化钛功能

氮化钛是一种新型多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列金属陶瓷中添加一定量的氮化钛，硬质相晶粒明显细化，陶瓷的理学性能无论在室温还是高温条件下均得到大幅改善，然后金属陶瓷的高温耐腐蚀性和抗氧化性大幅提高;通过以一定比例向陶瓷中添加TiN粉末，可以提高陶瓷的强度、韧性、硬度;将纳米氮化钛添加到TiN/Al2O3复相纳米陶瓷中，通过机械混合法等各种方法均匀混合，在得到的含有纳米氮化钛粒子的陶瓷材料内部形成导电网络。这种材料可以作为电子部件应用于半导体工业。天津防锈氮化钛加工中心TiN有着诱人的金黄色、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有导电性和超导性。

50.用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二钼化硫润滑剂的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上，因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力，优良的化学稳定性等特点，因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时，又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。TiN薄膜用于高温大气稳定太阳能吸收层的研究开始于1984年，较为近(Ti，A1)N涂层也被建议应用于太阳能选择吸收层和太阳能控制窗口，这主要是因为(Ti，AI)N涂层耐高温的特点。关于TiN和TiA1N涂层在太阳能领域的应用。

17-4PH钢表面Ti/TiN多层复合薄膜进行了研究,应用电弧离子镀技术分析不同Ti层与TiN层厚度比值和不同复合层数对表面形貌、断面形貌、成分、显微硬度、相结构、致密性、厚度均匀性、耐磨性、结合力等涂层性能的影响。通过研究确认,在Ti单层沉积3min、TiN单层沉积17min条件下制备的Ti/TiN六层复合薄膜具有极好的力学性能,可以使基体材料的表面硬度提高5倍以上,并使膜基结合力达到56N以上。可以有效的提高涂层的结合力，进而提高产品的表面性能。氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等材料。

50.离子镀TiN技术是近年来发展很快的PVD表面强化处理技术的一种,离子镀TiN是把金属蒸发源作为阴极与作为阳极的真空室产生弧光放电,使阴极金属靶材钛蒸发并离子化,再与室内的离子化氮结合成TiN,沉积在加有负偏压的工作表面.离子镀沉积温度较低,因此离子镀成为PVD中发展明显快,明显有前途的技术之一.TiN涂层首先成功应用在刀具上，可以大幅提高刀具的使用寿命，如增加其耐磨性、提高加工精度，提高其耐高温性能。其次对于切不同材质的产品表现出不同，更加优良的性能。DLC涂层相对光滑，粗糙度Ra为0.10μm,而TiN涂层Ra为0.16μm。杭州耐磨氮化钛

氮化钛相当稳定，高温下不与铁、铬、钙和镁等金属反应，TiN坩埚在CO与N2气氛下也不与酸性渣碱性渣起作用。南京医疗器械氮化钛功能

口腔是有生物化学和电化学因素影响的复杂环境，具有较强的腐蚀性。因而对应用于口腔中的金属材料也提出了更高的要求。在磁性附着体的研究及临床应用中，我们发现磁性附着体在口腔中长期使用后所出现的腐蚀和磨损是导致磁性附着体的固位力下降的主要原因，也是影响磁性附着体远期应用效果的主要问题。进一步提高磁性附着体的耐腐蚀性和耐磨损性是解决这一问题的适合途径。近年来，随着当今各种镀膜技术，如化学气相沉积(chemicalvapordepositionCVD)、物物理相沉积(physicalvapordepositionPVD)、等离子体辅助化学气相沉积(physicalchemicalvapordepositionPCVD)、激光辅助化学气相沉积(laserchemicalvapordepositionLCVD)、离子镀(ionplateIP)和离子束辅助沉积技术(ionbeamassisteddepositionIBAD)等不断完善和发展，使具有高硬度、高耐磨性、良好耐腐蚀性的氮化钛纳米膜在国际和国内都得到了适合研究与应用。南京医疗器械氮化钛功能

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