在深亚微米(0.15μm及以下)集成电路制造中,后段工艺日趋重要,为降低阻容迟滞(RCDelay),保证信号传输,减小功耗,有必要对后段工艺进行改进,Via阻挡层MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金属有机物化学气相淀积)TiN是其中重要研究课题之一。本论文基于薄膜电阻的理论分析,从厚度、杂质浓度和晶体结构三大薄膜电阻影响因素出发系统研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真实结构中的各种性质,重点是等离子体处理(PlasmaTreatment,PT)下的晶体生长,制备循环次数的选择对薄膜杂质浓度、晶体结构及电阻性能的影响,不同工艺薄膜在真实结构中物理形貌、晶体结构和电阻性能的表现和规律,超薄TiN薄膜(<5nm)的实际应用等。俄歇能谱、透射电子显微镜和方块电阻测试证明PT作用下杂质浓度降低,同时晶体生长,薄膜致密化而电阻率降低。PT具有饱和时间和深度,较厚薄膜需多循环制备以充分处理,发现薄膜厚度较小时(本实验条件下为4nm),增加循环次数虽然进一步降低了杂质浓度,但会引入界面而使薄膜电阻率增加。通过TEM观测发现由于等离子体运动的各向异性,真实结构中PT效率在侧壁远低于顶部和底部,这导致侧壁薄膜在PT后更厚。氮化钛具有良好导电性、高熔点、高硬度及耐磨耐酸碱腐蚀等特性,在开发高耐用的催化剂载体领域具应用前景。河北医疗器械氮化钛产品介绍
口腔是有生物化学和电化学因素影响的复杂环境,具有较强的腐蚀性。因而对应用于口腔中的金属材料也提出了更高的要求。在磁性附着体的研究及临床应用中,我们发现磁性附着体在口腔中长期使用后所出现的腐蚀和磨损是导致磁性附着体的固位力下降的主要原因,也是影响磁性附着体远期应用效果的主要问题。进一步提高磁性附着体的耐腐蚀性和耐磨损性是解决这一问题的适合途径。近年来,随着当今各种镀膜技术,如化学气相沉积(chemicalvapordepositionCVD)、物物理相沉积(physicalvapordepositionPVD)、等离子体辅助化学气相沉积(physicalchemicalvapordepositionPCVD)、激光辅助化学气相沉积(laserchemicalvapordepositionLCVD)、离子镀(ionplateIP)和离子束辅助沉积技术(ionbeamassisteddepositionIBAD)等不断完善和发展,使具有高硬度、高耐磨性、良好耐腐蚀性的氮化钛纳米膜在国际和国内都得到了适合研究与应用。淮安加硬氮化钛检测氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等材料。
1.氯化钛的超导临界温度较高,可作为优良的超导材料。氮化钛的熔点高于大多数过渡金属氮化物,密度低于大多数金属氮化物,从而成为一种独特的耐火材料。氮化钛可以作为一种膜镀在玻璃上,在红外线反射率大于75%的情况下,当氮化钛薄膜厚度大于90nm时能有效提高玻璃的保温性能。另外,调整氮化钛中氮元素的百分含量,可以改变氮化钛薄膜的颜色,从而达到理想的美观效果。氮化钛(TiN)是相当稳定的化台物,在高温下不与铁、铬、钙和镁等金属反应,TiN坩埚在CO与N2气氛下也不与酸性渣和碱性渣起作用,因此TiN坩埚是研究钢液与一些元素相互作用的优良容器。TiN在真空中加热失去氮,生成氮含量较低的氮化钛。TiN有着诱人的金黄色、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有较高的导电性和超导性,可应用于高温结构材料和超导材料。
黄金能保持光泽如初,经久不变的宝贵特性;自古以来做为货币使用,并成为财富和永恒的象征.因而,在人们心中唤起深刻的美感,雍雅华贵,灿烂眩目的金色,成为传统的普遍受人偏爱的色彩.为了装饰的目的,人们希望在各种基材的物品上获得金色的表面,仿金技术便成为表面处理工作者们不懈研讨的课题. 在众多的仿金工艺中,近年发展起来的离子沉积氮化钛(TiN)工艺具有突出的优点.TiN涂层的膜结构稳定,不会变色;它特别耐磨,因此,足以保持被装饰件的金色外观于始终;另外它所消耗的原材料廉价;加工过程中无污染公害.这些优点自然引起各方面的浓厚兴趣.国内在近十几年内迅速开展了对离子沉积氮化钛的研究和推广应用.TiN涂层已被广泛应用于航空、工模具、电子等加工领域,并且在刀具、模具等方面有力推动了制造业的发展。
在镁碳砖中添加一定量的TiN,可以明显提高镁碳砖的抗渣侵蚀性。1)氮化钛是优良的结构材料,可用于蒸汽喷射推进器和火箭等。在轴承和密封圈领域也大量使用氮化钛合金,强调了氮化钛的应用效果。2)基于氮化钛的优异导电性,可以制作各种电极和点接触等材料。3)氮化钛具有高超导临界温度,可作为优良的超导材料。4)氮化钛熔点高于许多过渡金属氮化物,密度低于许多金属氮化物,是一种独特的耐火材料。5)氮化钛可以作为一种膜镀在玻璃上,红外反射率大于75%时,氮化钛薄膜厚度大于90nm时,可以有效提高玻璃的保温性能。另外,通过调整氮化钛中的氮含量,可以改变氮化钛薄膜的颜色,达到理想的美观。氮化钛具有熔点高,化学稳定性好硬度大导电、导热和光性能好等良好的理化性质。嘉兴加硬氮化钛价格
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氮化钛具有耐腐蚀性强、抗氧化性好、化学稳定性高以及电导性好等优点。本文以阳极氧化法制得的纳米TiO2薄膜、多孔结构和纳米管材料为前驱体,通过氨气高温还原氮化法制得了纳米氮化钛薄膜、多孔结构和纳米管材料。XRD和EDS分析结果表明,三种纳米结构氮化钛的化学组分均只含Ti、N两种元素,且前驱体TiO2已经被完全转化为氮化钛,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM结果表明,高温氮化得到的三种纳米结构氮化钛仍保持了前驱体的微观结构,氮化钛多孔结构和纳米管均具有有序阵列特征,纳米管管径和孔道直径均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起颗粒。四探针法测试得到三种纳米氮化钛的电阻率约为5.0×l0-7?·m,显示了很好的电子导电性。恒电位阶跃测试得到氮化钛纳米管的真实表面积为1591.2cm2,多孔结构为366.3cm2,薄膜为125.8cm2。采用线性伏安曲线和Tafel曲线研究了制备得到的三种纳米结构氮化钛电极在硫酸溶液中的电化学析氢性能。研究表明,虽然三种TiO2前驱体具有较大的比表面积,但由于其导电性较差,导致析氢过电位高,而形成氮化物后则能显著提高其析氢能力。氮化钛纳米管电极真实表面积比较大,且高度有序的纳米管阵列结构,具有比氮化钛薄膜和多孔结构更好的析氢电催化活性。河北医疗器械氮化钛产品介绍
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