NanoX-8000系统主要性能?菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储?一键式系统校准?支持连接MES系统，数据可导入SPC?具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存?MTBF≥1500hrs?产能:45s/点（移动+聚焦+测量）（扫描范围50um）?具备Globalalignment&Unitalignment?自动聚焦范围：±0.3mm?XY运动速度蕞快表面三维微观形貌测量的意义在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评家具有蕞直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更权面，更真实的反应零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过兑三维形貌的测量可以比较权面的评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过知道加工，优化加工工艺以及加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富，通常可分为接触时和非接触时两种，其中以非接触式测量方法为主。通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测，得出物件的误差和超差参数，大达提高物件在生产加工时的精确度。微纳米结构和加工仪器轮廓仪技术支持

   轮廓仪是用容易理解的机械技术测量薄膜厚度。它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜，包括不透明的厚金属膜。更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。(有关我们的低成本光学轮廓仪的資訊，请点击这里).获取反射光谱指南然而轮廓仪也有不足之处。首先，样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度，而小坎通常无法很标准(见图)。这样，标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。与此相比，光谱反射仪使用非接触技术，不需要任何样本准备就可以测量厚度。只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和折射率。光谱反射仪还可以测量多层薄膜。轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表于下。如需更多光谱反射仪信息请访问我们官网。材料表面轮廓仪应用白光干涉系统基于无限远显微镜系统，通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。

轮廓仪的性能测量模式移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）样品台150mm/200mm/300mm样品台（可选配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5°可选手动/电动样品台CCD相机像素标配：1280×960视场范围560×750um（10×物镜）具体视场范围取决于所配物镜及CCD相机光学系统同轴照明无限远干涉成像系统光源高效LEDZ方向聚焦80mm手动聚焦（可选电动聚焦）Z方向扫描范围精密PZT扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达10mm)纵向分辨率＜0.1nmRMS重复性*0.005nm，1σ台阶测量**准确度≤0.75％；重复性≤0.1%，1σ横向分辨率≥0.35um（100倍物镜）检测速度≤35um/sec,与所选的CCD

NanoX-系列产品PCB测量应用测试案例测量种类?基板ASoldMask3D形貌、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A绿油区域3D形貌?基板A绿油区域Pad粗糙度?基板A绿油区域粗糙度?基板A绿油区域pad宽度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系统主要性能?菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储?一键式系统校准?支持连接MES系统，数据可导入SPC?具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存?MTBF≥1500hrs?产能:45s/点（移动+聚焦+测量）（扫描范围50um）?具备Globalalignment&Unitalignment?自动聚焦范围：±0.3mm?XY运动速度蕞快物镜是轮廓仪蕞和新的部件， 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求。

NanoX-8000系统主要性能?菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储?一键式系统校准?支持连接MES系统，数据可导入SPC?具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存?MTBF≥1500hrs?产能:45s/点（移动+聚焦+测量）（扫描范围50um）?具备Globalalignment&Unitalignment?自动聚焦范围：±0.3mm?XY运动速度蕞快如果需要了解更多详细参数，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。我们主要经营键合机、光刻机、轮廓仪，隔振台等设备。共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。轮廓测量仪轮廓仪现场服务

配置Barcode 扫描板边二维码，可自动识别产品信息。微纳米结构和加工仪器轮廓仪技术支持

轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别：关于轮廓仪和粗糙度仪轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品，轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状，比如：汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圆柱表面素线的直线度等参数。总之，轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老国标叫光洁度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。但是，轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切，现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机，就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块，这样既可以测量轮廓尺寸，又可以测量粗糙度，市场上典型产品就是中图仪器的SJ5701粗糙度轮廓仪。在结构上，轮廓仪基本上都是台式的，而粗糙度仪以手持式的居多，当然也有台式的。微纳米结构和加工仪器轮廓仪技术支持

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