传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意,如果未启用LFS,则它将无效。敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落! 安装好后参数不需要调整。晶圆片隔振台质量怎么样
LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。面向LFS传感器的蓝色LED直立。将弟一个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。传感器的位置:传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支承面刚度:支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。浙江实验室隔振台在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ,并在此领域积累了丰富的经验。
技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性:大约垂直约12μm/N水平30-40μm/N最大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg电的安全等级:1个能量消耗:蕞大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz超载:显示屏指示负载过重或严重失衡监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线桌上尺寸:500x600毫米。
AVI200-SAVI200-S的基本配置
包括两个单个承载模块和一个控制单元,蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。
为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。AVI200-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。
我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-400千克(0-200千克单个元件) 示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的。
使用说明书解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板!更改负载后,检查每个角是否自由移动!将电源插头连接到背面的输入电源插座。按下背面的电源按钮打开设备“POWER”LED将点亮,而“ACTIVE”LED开始闪烁。大约30秒钟后,“活动”LED将保持点亮状态,并且系统现在可以使用了。您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。晶圆片隔振台质量怎么样
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。晶圆片隔振台质量怎么样
将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂时不再隔离,直到过载消除(待机模式)。消除过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后,系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离,但通常只需要几秒钟。注意:在正常使用中,隔离开关可能会保持在ON位置(黑色旋钮在里面)。上接通电源后,黄色指示灯将首先闪烁,表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后,指示灯停止闪烁并保持点亮状态,表明系统处于隔离。晶圆片隔振台质量怎么样
岱美仪器技术服务(上海)有限公司拥有磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 等多项业务,主营业务涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。一批专业的技术团队,是实现企业战略目标的基础,是企业持续发展的动力。诚实、守信是对企业的经营要求,也是我们做人的基本准则。公司致力于打造***的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。一直以来公司坚持以客户为中心、半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。