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光刻机隔振台干扰仪防震台应用

来源: 发布时间:2022-04-17

手次使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后,您可以将隔离开关推到打开位置(黑色旋钮进入)。黄色LED现在将一直亮起,表示系统正在隔离。把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。光刻机隔振台干扰仪防震台应用

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TS特点:◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用主动减振台隔振台干涉测量应用安装好后参数不需要调整。

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AVI-400系列(负载:蕞多800kg)型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系统形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:通常为18W工作温度范围:5℃?40℃工作湿度范围10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力,所有过载指示灯都将亮起,隔离指示灯将闪烁几秒钟,表示系统在过载解除(待机模式)之前暂时不再隔离。卸下过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段,系统也在隔离,但增益降低。严重过载后,系统可能需要半分钟才能完全隔离,但通常只需要几秒钟。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。

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AVI主动隔震台AVI应用于扫描电镜1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。4、将弟一个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。AVI-200XLP隔振台当地价格

示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的。光刻机隔振台干扰仪防震台应用

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果蕞好,但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置,将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与弟一个装置平行放置,但这并非决对必要。但是,必须特别注意桌面的正确连接,如下所述。注意,也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下,刚性安装是决对必要的。我们很乐意为您提供蕞佳安装方法的建议。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。光刻机隔振台干扰仪防震台应用

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